2023年6月29日-7月1日,中國國際半導體設備、材料、制造和服務展覽會(SEMICON China)在上海舉行,本次展會覆蓋芯片設計、制造、封測、設備、材料、光伏、顯示等全產業鏈,是全球規模最大、最具影響力的半導體專業展。國內外半導體產業的頂尖企業和專業人士匯聚申城,交流技術心得,共話行業發展。
公司子公司創微微電子(常州)有限公司(以下簡稱“創微微電子”)自2020年9月成立以來,專注于高端半導體濕法清洗設備制造,憑借國際化團隊和國產化制造,逐步得到業界及用戶的支持與認可。本次展會,創微微電子攜自主研發的先進技術成果亮相SEMICON China,吸引了大批行業伙伴蒞臨創微微電子展臺參觀交流、洽談合作,并獲取多家意向訂單。
堅持國產化,成績斐然
公司錨定國產化戰略并堅持至今,目前在批次式濕法工業設備國產化推進已是國內領先,整體國產化率高達90%。其自主研發的純水加熱器、Dryer、PTFE及PFA零部件、石英零部件、熱交換器、管路接頭等部件皆已實現自主研發、國內加工及合作開發,成功打破日韓壟斷地位。同時,公司也帶領上下游零部件伙伴共同發展,幫助他們取得相關認證,成功替代美日設備,并已得到半導體行業頭部客戶認可。
軟件方面,目前公司軟件工程師占比30%,自編自設軟件系統,所有編程代碼均為自主持有,已完全擺脫國外廠商限制,可及時高效地為客戶量身定制工藝程序進行生產制造。
進軍12吋清洗設備,未來可期
公司持續加大研發投入,向高端清洗設備發展,正在研發28nm以下制程所需大型12吋清洗設備,主要包括Banch機臺(槽式機)與Single(單片機),將成為公司設備研發及國產化進程的又一里程碑。