管式低壓氧化退火設備
管式低壓氧化退火設備
低壓氧化、退火。
設備名稱 Equipment name
管式低壓氧化退火設備 Horizontal Low Pressure Oxidation/Annealing Equipment
設備型號 Equipment Model
DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX
設備用途 Equipment Application
低壓氧化、退火。
Low Pressure oxidation, annealing.
技術特點 Features
1、大產能。
High throughput.
2、配套相關專利技術，可兼容或升級硼擴散工藝。
Patented technology, compatible or upgradeable with boron diffusion process.
3、獨特雙嵌套爐門結構。
Unique double-layer-nested furnace door structure.
4、高速平穩整體模組推舟機構。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.
設備參數 Parameters
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