管式二合一PECVD設備
管式二合一PECVD設備
AlO+SiN薄膜沉積。
設備名稱 Equipment Name
管式二合一PECVD設備 Horizontal PECVD (Two-In-One)
設備型號 Equipment Model
PD-520/PD-520L/PD-520MAX
設備用途 Equipment Application
AlO+SiN薄膜沉積。
AlOx+SiN deposition.
技術特點 Features
1、AlOx+SiN二合一同管完成，減少工藝環節，有效提升良率、降低碎片率。
The AIOx & SiN layers can be coated in the same furnace tube which helps in reducing the process steps,improving the yield and lowering the breakage rate effectively.
2、單機產能優越的二合一配置方案。
Optimal throughout solution: two-in-one configuration.
設備參數 Parameters
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管式PECVD設備
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管式PE-Poly設備
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