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全自動石英舟裝卸片機

集裝片和卸片一體，可從石英舟中把擴散后的硅片卸到片籃中，也可從片籃中將制絨后的硅片裝入石英舟中。可在?個石英舟插槽中插?兩片，實現單面擴散片工藝，也可在?個石英舟插槽中插入一片，實現雙面擴散片工藝。采用裝片與卸片可連續銜接?式，實現連續生產；也可單獨裝片或單獨卸片。

全自動石墨舟裝卸片機

本設備為在線式，可與一臺或兩臺側出舟設備對接，實現石墨舟的自動傳輸和硅片自動裝卸，滿足在太陽能電池片生產過程中的PECVD工藝前后，將片籃中的硅片自動裝載到石墨舟，并將石墨舟輸送到PECVD設備中，或將PECVD設備中的石墨舟輸送到本設備，并將石墨舟中的硅片自動裝載到片籃中。

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